Semi Factory

Semi Factory 是面向初学者的半导体制造 VR 学习体验,也是我的个人独立毕业项目。学习者在虚拟工厂中调整设备布局、观察晶圆运输,并通过操作三维教学模型了解加工工艺。项目完成了体验设计、空间 UI 与 Unity 原型开发,可在 Meta Quest 3S 上运行

虚拟洁净室 · AI 辅助视觉展示

晶圆是用于制造芯片的薄圆片,需要在不同设备中完成多道加工。项目将学习内容分为设备布局、晶圆流转与加工工艺三个层次:先认识工厂中的空间关系,再观察运输,最后通过教学模型理解设备内部的变化。

VR 体验演示

演示展示了设备搭建、运输路线设置和分步工艺教学。学习者通过腕部菜单切换模式,用手柄射线选择设备和按钮;遇到疑问时,可打开 AI 学习助手(AI Tutor)提问。视频为头显内的实际操作录制。

设备选择与工厂布局

搭建模式提供设备选择、放置、移动与旋转操作。近距离观察设备时,头显视野难以覆盖整个车间,因此面板保留随布局更新的实时地图。局部操作与全局视图并置,学习者可以核对设备间距和相对位置,完成后保存布局。

工厂搭建 · 空间操作与全局视图
工厂搭建 · 选择设备并查看布局更新,截取自头显演示视频 00:31—00:40。
工厂搭建 · 选择设备并查看布局更新头显实录 · 00:31—00:40

设备确认放置前先显示预览。地面吸附与碰撞提示分别反馈设备是否贴合地面、是否与场景物体重叠,让位置检查发生在确认操作之前。

腕部菜单与空间面板

腕部菜单集中呈现搭建、运输、设备查看、工艺学习与 AI 助手入口,并标识当前模式。模式导航与任务面板分开:学习者打开菜单选择任务,再将对应面板调整到合适的阅读位置,用手柄射线选择控件。

腕部菜单 · 模式入口与当前状态
腕部菜单 · 打开菜单并进入搭建模式,截取自头显演示视频 00:15—00:24。
腕部菜单 · 打开菜单并进入搭建模式头显实录 · 00:15—00:24

OHT 运输与路线连通性

OHT 是沿顶部轨道运行的高架搬运系统,用于在设备间转运晶圆载具。装载口是设备接收与交接载具的位置,运输模式将装载口作为路线端点。学习者选择端点并生成轨道后,可以启动小车,观察小车沿线运行及在装载口上方减速停靠的过程。

OHT 运输细节 · AI 辅助视觉展示

路线面板将轨道生成、连通性检查和载具运行按操作顺序排列。启动前先核对路线连接和起终点状态,运行时再对照小车位置查看反馈,区分路线配置问题与运输状态。

路线状态 · 生成、检查、运行

工艺教学与操作反馈

工艺教学将设备内部的加工过程转化为可操作的三维模型。学习模式包含12 个教学阶段,涵盖洁净室入门,以及清洗、光刻、刻蚀等工艺。每课先说明任务,再组织模型操作,以模型变化、语音和字幕反馈结果。

12 个教学阶段 · 模型总览

光刻课程以掩模定位和曝光为主要操作,展示图案在晶圆感光层上的形成过程。刻蚀课程则展示指定区域材料被移除的变化:学习者选择气体、启动加工,再对比刻蚀不足、合适与过度的结果。两课分别说明图案如何形成,以及材料如何去除。

光刻 · 定位与图案形成
刻蚀 · 操作与结果对比
光刻教学的模型操作与变化,头显实录 04:20 至 04:32。
光刻 · 模型操作头显实录 · 04:20—04:32
刻蚀教学中的加工演示与模型变化,头显实录 05:00 至 05:10。
刻蚀 · 加工演示头显实录 · 05:00—05:10

各课复用任务、操作参数与结果反馈的信息层级。步骤支持重播与重置,学习者可以重复观察同一变化,也可以重新操作后对比结果。

分步教学 · 任务、参数与反馈

基于场景上下文的 AI 问答

AI Tutor 将语音提问与当前模式、选中设备、教学步骤和错误状态一起作为问答上下文。回答可以对应正在操作的对象;面板保留场景信息和语音转写,供学习者核对。解释以文字和语音呈现,阅读时仍可对照三维模型。

AI Tutor · 场景上下文与语音问答
AI 问答 · 查看助手返回的解释,截取自头显演示视频 07:54—08:06。
AI 问答 · 查看助手返回的解释头显实录 · 07:54—08:06

“解释当前内容”“为什么出错”和“下一步”三个入口提供按任务组织的快捷提问,帮助初学者表达问题。下一轮迭代中,我计划在助手回答时同步高亮对应的设备或控件。

原型开发与头显适配

原型使用 Unity 与 Meta XR 开发,实现空间面板、射线选择、触觉反馈和教学步骤切换。设备资产接入前统一检查模型尺度、朝向与旋转中心,使放置和旋转操作对应正确的空间位置。

独立式头显需要控制渲染负载,搭建模式使用轻量化设备模型,教学模式只启用当前课程的内容。真机调试检查控件命中、文字可读性和场景运行表现。

后续迭代计划

现有试用反馈指出,设备搭建、路线设置与工艺课程之间的关联不够明确。下一轮将优先定义任务目标、完成条件与模式衔接,把各模式的练习组织为更清楚的学习路径。

搭建任务与完成条件
为练习补充布局要求,说明需要放置哪些设备,以及如何检查摆放结果。
设备与课程关联
将已摆放的设备与对应课程连接,选中设备后可以进入相关加工步骤。
多载具通行情境
在单小车运行的基础上加入两车共用轨道的练习,观察相遇时的等待和通行顺序。
场景内操作引导
将 AI 助手的步骤解释与对应设备或按钮的高亮结合。